JSC «NIIEFA»
Join Stock Company
«D.V.Efremov Institute of Electrophysical Apparatus»
About us Contacts Vacancies News Anti-theft Suppliers Dissertation Council Ecological security Protection of labour Торги имущества
 

ФУНКЦИОНАЛЬНЫЕ ВАКУУМНЫЕ ПОКРЫТИЯ В УСКОРИТЕЛЬНОЙ ТЕХНИКЕ

Для нанесения различных функциональных покрытий на элементы ускорителей НИИЭФА в 2001 году создан «участок плазменного напыления». Отработан ряд технологических приёмов по нанесению тонких плёнок магнетронным методом ионно-плазменного напыления металлических покрытий в вакууме на детали и узлы, входящие в состав изделий ускорительной техники.

В настоящее время участок включает три установки: магнетронные «УНВП» и «Оратория 5» и модернизированный вакуумный универсальный пост «ВУП 5».

Вакуумная установка нанесения высокопроводящих покрытий «УНВП»
Вакуумная установка нанесения высокопроводящих покрытий «УНВП»

Установка «УНВП» построена для нанесения высокопроводящих покрытий на крупногабаритные изделия длиной 1500 мм и шириной 400 мм методом магнетронного распыления.

Размеры:

1 Вакуумная камера - диаметр 800х2100 мм

2 Рабочий стол - 550х1550 мм

3 Распыляемая мишень (катод, представляющий собой цельную трубу)-80х8х1650 мм

Установка укомплектована расходными мишенями для нанесения покрытий меди, титана и нержавеющей стали.

Модернизированный вакуумный агрегат «Оратория 5»
Модернизированный вакуумный агрегат «Оратория 5»

Модернизированный вакуумный агрегат позволяет наносить функциональные покрытия методом магнетронного распыления следующих материалов:

Al, Cu, Cr, Ti, Zn, Ni, нержавеющая сталь и др.

Максимальные размеры обрабатываемых изделий:

•диаметр – 200 мм,

•длина – 150 мм.

Вакуумная камера установки имеет четыре технологических объёма. Карусель с обрабатываемыми изделиями, закреплёнными на устройствах планетарного вращения, последовательно перемещает их из одной позиции в другую.

Конструкция позволяет осуществлять:

  • шлюзовую загрузку изделий и финишную очистку поверхности в плазме тлеющего разряда в первом технологическом объёме;
  • нагрев образцов во втором объёме;
  • осаждение плёнок магнетронным распылением в третьем и четвёртом объёмах;
  • одновременное проведение вышеперечисленных операций

Применение плазменного осаждения покрытий в производстве элементов ускорительной техники:

  • Контактные и дроссельные волноводные фланцы электронных ускорителей из стали 45. С одной стороны к фланцу припаивается медный волновод.
  • Детали магнитной системы циклотрона из магнитомягкого материала – стали 10
  • Электроды ускоряющей структуры с ПОКФ (пространственно-однородной квадрупольной фокусировкой) линейного ионного ускорителя из алюминиевого сплава Д-16.
  • Защитное покрытие электрода ускорителя с ПОКФ.
  • Покрытие алюминием лавсановой основы для изготовления ионизационных камер медицинских ускорителей – детекторов системы мониторирования дозы и детектора равномерности поля облучения.

Универсальная вакуумная установка VUP-5 .

Универсальная вакуумная установка ВУП-5
Универсальная вакуумная установка ВУП-5

Универсальная вакуумная установка ВУП-5

Модернизированный вакуумный универсальный пост «ВУП-5»с инверторным и источником питания «Rainbow-150» позволяет наряду со штатным термическим напылением производить электродуговые распыление графита, получая сверхтонкие углеродные покрытия (10-500 мкг/см2).

Разработан оригинальный способ снятия углеродной фольги с подложки, позволяющий удалять сверхтонкие пленки площадью до 100×100 мм2 не нарушая целостности и не внося структурных дефектов.

Получаемые графитовые фольги широко используются в перезарядных и обдирочных мишенях ускорительной техники.

 
© 2004-2016, Efremov Institute, ITD. CMS Русская версия Яндекс.Метрика