СВЕТЛАНА
ЭКСИМЕРНЫЙ ЛАЗЕР
Электроразрядный эксимерный KrF- и ArF-лазер Светлана с бестиратронной системой питания, генерирующий импульсы излучения в ультрафиолетовом диапазоне спектра, предназначен для использования в технологических и исследовательских целях, а также в составе установок для контроля состояния окружающей среды.
| Лазерная среда |
ArF |
KrF |
| Длина волны излучения, нм |
193 |
248 |
| Максимальная энергия в импульсе, мДж |
250 |
680 |
| Максимальная частота следования импульсов, Гц |
200 |
300 |
| Максимальная средняя мощность, Вт |
40 |
115 |
| Длительность импульса излучения (по полувысоте), нсек |
30 |
33 |
| Сечение светового пучка на выходе из резонатора, мм |
27x6 |
27x11 |
| Стабильность излучения, % |
2 |
2 |
| Расходимость излучения |
4.0x1.5 |
4.0x1.5 |
| Максимальная потребляемая мощность, кВт |
8 |
8 |
